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全新 ULVAC爱发科 通用油扩散喷射泵
全新 ULVAC爱发科 通用油扩散喷射泵
使用 安装组件可无需支架直接搭载
标配热传感器
热传感器可以监测真空泵温度的异常上升，通知油量的减少和泵的异常。
内置油雾过滤器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）减少油的更换频率。 油箱内置方便更换的盒式滤芯。
被油雾过滤器回收的油会自动回到泵内。 油净化装置去除混入的杂质。
特点
安装方向自由
安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度。
搭载控制器
控制器安装在主体上，有效地减少了布线并减小了排气系统的尺寸。
高压缩比・高排气圧力
高压缩比和高背压操作使得辅助泵可以实现小型化。
三种法兰可供选择
VG、ICF、ISO-K三种类型的吸气口法兰可供选择。
清洁真空
在运行时以及泵停止时，碳氢化合物的回流很少。
用途
分析设备、研究开发设备、实验设备等的主排气系统
蒸发设备、溅射设备等著排气系统
H2、He等轻气体主排气系统
用于使低温泵运转。将压缩后的氦气送出冷冻机，冷却从冷冻机回来的高温氦气，使之循环。
| 型号 | PBL-02 | PBL-04 | PBL-06 | PBL-10 | PBL-14 | PBL-20 | |
| 排气速度 | 80 L/sec | 200 L/sec | 500 L/sec | 1800 L/sec | 4000 L/sec | 7000 L/sec | |
| 极限压力 *1 | 2.7×10-2 Pa | ||||||
| 临界背压 | 40 Pa | ||||||
| 工作开始时间 | 20 min | 30 min | 30 min | 40 min | 50 min | 60 min | |
| 液压油 | ULVOIL B-6 | ||||||
| 油量 | 0.1 L | 0.6 L | 7.5 L | 18 L | 36 L | 90 L | |
| 水温 | 19～25℃ | ||||||
| 冷却水进水口(尺寸) | Rc 1/8×1 | Rc 1/4×1 | Rc 3/8×2 | Rc 1/2×2 | Rc 1/2×3 | Rc 1/2×3 | |
| Rc 3/8×1 | |||||||
| 冷却水量 | 1.5 L/min | 5 L/min | 8 L/min | 12 L/min | 18 L/min | 25 L/min | |
| 电压规格 | 200V / 1φ | 200V / 3φ | |||||
| 电力需求 | 0.44 kW | 1.8 kW | 4 kW | 8 kW | 11 kW | 18 kW | |
| 2kW x 2个 | 4kW x 2个 | 5.5kW x 2个 | 6kW x 3个 | ||||
| 加热器种类 | 墨盒加热器 | 盘绕加热器 | 管道加热器 | 管道加热器 | 管道加热器 | 管道加热器 | |
| 推荐辅助泵 *2 | VD201/VD30C PVD-360 | PKS-016 VS1501 | PKS-030 VS2401 | PKS-070 (PMB600D＋ PKS-030) (PMB600D＋ VS1501) | PMB1200D＋ PKS-030 PMB1200D＋ VS1501 | PMB-040C＋ PKS-070 (PMB2400D＋ PKS-070) | |
| 外形尺寸 *3 | A | 100 mm | 150 mm | 200 mm | 300 mm | 340 mm | 510 mm |
| B | 70 mm | 112 mm | 152 mm | 346 mm | 548 mm | 422 mm | |
| H | 463 mm | 524 mm | 973 mm | 1,321 mm | 1,687 mm | 2,320 mm | |
| 吸气口 | VG50 | VG100 | VG150 | VG250 | VG350 | VG500 | |
| 排气口 | 3/4B hose fittings | VG40 | VG50 | VG80 | VG100 | VG200 | |
| 重量 | 6 | 17 | 86 | 198 | 313 | 495 | |
| 油位计 | 无 | 无 | 带 量油尺 | 带 量油尺 | 带 量油尺 | 带 量油尺 | |
| 温控器选项 | 无 | 无 | 无 | 无 | 无 | 无 | |
| 恒温器设定温度 | - | - | - | - | - | - | |
| 型号 | BW-02 | BW-04B | BW-06B | BW-10 | BW-14 | BW-20 | |
| 电导 | 100 L/sec | 940 L/sec | 2,200 L/sec | 3,130 L/sec | 5,000 L/sec | 13,000 L/sec | |
| 外直径(尺寸) *3 | D | φ120 mm | φ149 mm | φ199 mm | φ350 mm | φ450 mm | φ625 mm |
| T | 16 mm | 28 mm | 28 mm | 44 mm | 50 mm | 152 mm | |
| t | 16 mm | 25 mm | 25 mm | 22 mm | 22 mm | 24 mm | |
| 冷却水进水口(尺寸) | Rc 1/8 | Rc 1/4 | Rc 1/4 | Rc 1/4 | Rc 3/8 | Rc 3/8 | |
| 水容量 | 1.5 L/min | 0.7 L/min | 1 L/min | 2 L/min | 2 L/min | 3 L/min | |
| 重量 | 1 kg | 1.3 kg | 1.7 kg | 7.6 kg | 11 kg | 22 kg | |
*1 当冷却水量为20℃时，极限压力基于电离真空计。
*2 这里是根据扩散泵最大流量来选择辅助泵的。通常情况下，考虑到粗抽时间，
使用比这里所示的更大的机械增压泵和油回转真空泵也是合适的。
*3 关于其他尺寸，请确认本公司网站上的CAD数据（二维图纸、三维图纸）。
油扩散泵
BW 系列
BW-02
ULVAC
油扩散泵
BW 系列
BW-04B
ULVAC
油扩散泵
BW 系列
BW-06B
ULVAC
油扩散泵
BW 系列
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ULVAC
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BW-14
ULVAC
油扩散泵
BW 系列
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油扩散泵
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