直售ULVAC爱发科 通用低温泵压缩机单元
直售ULVAC爱发科 通用低温泵压缩机单元
使用 安装组件可无需支架直接搭载
标配热传感器
热传感器可以监测真空泵温度的异常上升，通知油量的减少和泵的异常。
内置油雾过滤器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）减少油的更换频率。 油箱内置方便更换的盒式滤芯。
被油雾过滤器回收的油会自动回到泵内。 油净化装置去除混入的杂质。
特点
安装方向自由
安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度。
搭载控制器
控制器安装在主体上，有效地减少了布线并减小了排气系统的尺寸。
高压缩比・高排气圧力
高压缩比和高背压操作使得辅助泵可以实现小型化。
三种法兰可供选择
VG、ICF、ISO-K三种类型的吸气口法兰可供选择。
清洁真空
在运行时以及泵停止时，碳氢化合物的回流很少。
用途
分析设备、研究开发设备、实验设备等的主排气系统
蒸发设备、溅射设备等著排气系统
H2、He等轻气体主排气系统
用于使低温泵运转。将压缩后的氦气送出冷冻机，冷却从冷冻机回来的高温氦气，使之循环。
低温泵
压缩机单元
C10
ULVAC CRYOGENICS
低温泵
压缩机单元
C10AT
ULVAC CRYOGENICS
低温泵
压缩机单元
C15R
ULVAC CRYOGENICS
低温泵
压缩机单元
C30VR
ULVAC CRYOGENICS
低温泵
压缩机单元
C30VRT
ULVAC CRYOGENICS
低温泵
压缩机单元
C30MVR
ULVAC CRYOGENICS
低温泵
压缩机单元
C30MVRT
ULVAC CRYOGENICS
低温泵
压缩机单元
C30PVRT
ULVAC CRYOGENICS
低温泵
压缩机单元
C30PMVRT
ULVAC CRYOGENICS
低温泵
压缩机单元
C40R
ULVAC CRYOGENICSPage TopULVAC SHOWCASE Adva
| 电源（ACV×Φ×Hz） | 200×3×50 220×3×60 |
| 電力KW（50/60Hz） | 6.5/8.0 |
| 冷却方式水量（L/min）(20℃) | 水冷 5.5 |
| 重量（Kg） | 130 |
*油吸附器更换時間：24,000時間
*冷却水出入口 Rc 3/8
电话
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