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仓库直售 ULVAC爱发科 高真空的低温泵
仓库直售 ULVAC爱发科 高真空的低温泵
使用 安装组件可无需支架直接搭载
标配热传感器
热传感器可以监测真空泵温度的异常上升，通知油量的减少和泵的异常。
内置油雾过滤器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）减少油的更换频率。 油箱内置方便更换的盒式滤芯。
被油雾过滤器回收的油会自动回到泵内。 油净化装置去除混入的杂质。
特点
安装方向自由
安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度。
搭载控制器
控制器安装在主体上，有效地减少了布线并减小了排气系统的尺寸。
高压缩比・高排气圧力
高压缩比和高背压操作使得辅助泵可以实现小型化。
三种法兰可供选择
VG、ICF、ISO-K三种类型的吸气口法兰可供选择。
清洁真空
在运行时以及泵停止时，碳氢化合物的回流很少。
用途
分析设备、研究开发设备、实验设备等的主排气系统
蒸发设备、溅射设备等著排气系统
H2、He等轻气体主排气系统
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。
轻量・紧凑、标准尺寸最小的泵
适用于实验室和研究室的小型真空设备。
可以多台运行（最多3台）
可以达到超高真空（10-8Pa以下）
| 排气速度(20℃) | 氮 | L/s | 750 |
| 氢 | 1,100 | ||
| 氩 | 620 | ||
| 水 | 2,100 | ||
| 极限压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.1×103(7.9) |
| 氢 | 1.1×102(0.8) | ||
| 排气容量 | 氩 | Pa・L(Torr・L) | 5.6×107(4.2×105) |
| 氢 | 3.1×105(2.3×103) | ||
| 冷却下降时间(动力循环) | min(Hz) | 80/70(50/60) | |
| 吸气口法兰 | UVG-150,UFC-203 | ||
| 压缩机组 | C10T,C10AT | ||
| 重量 | Kg | 19 | |
*维护周期：16,000小时
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