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总经销ULVAC爱发科 离子泵控制器PST系列用控制器
总经销ULVAC爱发科 离子泵控制器PST系列用控制器
使用 安装组件可无需支架直接搭载
标配热传感器
热传感器可以监测真空泵温度的异常上升，通知油量的减少和泵的异常。
内置油雾过滤器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）减少油的更换频率。 油箱内置方便更换的盒式滤芯。
被油雾过滤器回收的油会自动回到泵内。 油净化装置去除混入的杂质。
特点
安装方向自由
安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度。
搭载控制器
控制器安装在主体上，有效地减少了布线并减小了排气系统的尺寸。
高压缩比・高排气圧力
高压缩比和高背压操作使得辅助泵可以实现小型化。
三种法兰可供选择
VG、ICF、ISO-K三种类型的吸气口法兰可供选择。
清洁真空
在运行时以及泵停止时，碳氢化合物的回流很少。
用途
分析设备、研究开发设备、实验设备等的主排气系统
蒸发设备、溅射设备等著排气系统
H2、He等轻气体主排气系统
| 可连接泵 | Actor 泵（PST 系列所有型号） | |
| 工作压力 | 10 -2 至 10 -4 Pa 或更低 | |
| 显示范围 | 显示方式 | 数字显示（7段LED） |
| 显示内容 | ||
| a）输出电流显示 | 自动选择2个量程：mA、μA（线性显示） | |
| b）输出电压显示 | 0.0 至 7.5 kV (H 或 L)（1 量程线性显示） | |
| c）压力显示 | Pa、mbr (1×10 -8～1×10 -2 Pa) (1×10 -10～ 1×10 -4 mbar) | |
| 输出释放电压 | DC+7.5kV （2 点，高和低，可使用前面板开关选择；高/低压设置可使用微调器在约 1.0 至 7.5kV 范围内调节） | |
| 输出电流 | 小于DC31mA | |
| 输入电压/电流 | AC100～115V±10% ・ 50/60Hz～3.0A AC200～240V±10% ・ 50/60Hz～1.5A | |
| MONITOR端子输出信号 | 信号输出与7段面板显示成比例，每个范围DC 0至10V满量程，超过100kΩ | |
| 压力设定点 | 2 分 | |
| 远程/本地 | 可通过面板开关选择 | |
| 外部控制功能 | 配备各种输入/输出功能（配备 REMOTE 连接器）（远程、RS-232C 通信控制） | |
| 保护功能 | 错误显示/提供各种保护功能 高压（HV）输出关闭 ERR 0 至 5 亮 启动保护定时器设置（1 至 255 分钟可调） 断电后自动保留（HV 保持开关操作） | |
| 环境工作条件 | 温度 | 0～40℃ |
| 湿度 | 小于85%（无结露） | |
| 配件 | 输出电缆（5m）、输入电缆（3m） | |
| 重量 | 主机：约4kg，电缆：约1.0kg（标准） | |
| 尺寸（宽 x 高 x 深） | 240 x 99 x 370 毫米 {200 x 99 x 370 毫米（不包括机架安装支架）} | |
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