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新品ULVAC爱发科 溅射离子泵PST 系列
新品ULVAC爱发科 溅射离子泵PST 系列
使用 安装组件可无需支架直接搭载
标配热传感器
热传感器可以监测真空泵温度的异常上升，通知油量的减少和泵的异常。
内置油雾过滤器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）减少油的更换频率。 油箱内置方便更换的盒式滤芯。
被油雾过滤器回收的油会自动回到泵内。 油净化装置去除混入的杂质。
特点
安装方向自由
安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度。
搭载控制器
控制器安装在主体上，有效地减少了布线并减小了排气系统的尺寸。
高压缩比・高排气圧力
高压缩比和高背压操作使得辅助泵可以实现小型化。
三种法兰可供选择
VG、ICF、ISO-K三种类型的吸气口法兰可供选择。
清洁真空
在运行时以及泵停止时，碳氢化合物的回流很少。
用途
分析设备、研究开发设备、实验设备等的主排气系统
蒸发设备、溅射设备等著排气系统
H2、He等轻气体主排气系统
| 型号 | PST-030CU | PST-030AU | PST-050CU | PST-050AU | PST-100CX | PST-100AX | |
| 主要对象气体 | 活性气体 | 希有气体 | 活性气体 | 希有气体 | 活性气体 | 希有气体 | |
| 排气速度* (再生排气速度) | 0.03m3/s (N2 测定时) | 0.013m3/s (Ar 测定时) | 0.045m3/s (N2 测定时) | 0.016m3/s (Ar 测定时) | 0.10m3/s (N2 测定时) | 0.05m3/s (Ar 测定时) | |
| 到达压力 | 10-9Pa | ||||||
| 动作压力 | 推荐值 | <8.0×10-3Pa | <5.0 x 10-3Pa | ||||
| 内容积 | 0.67 X 10-3m3 | 1.3x10-3m3 | 3.3x10-3m3 | ||||
| 泵元件数量 | CU型单元×1 式 | AU sell×1式 | CU sell×1 | AU sell×1 | CX sell×1 | AX sell×1 | |
| 连接法兰规格 | UFC070 | UFC114 | UFC152 | ||||
| 施加电压 | DC+7.5kV | ||||||
| 加热器 | 无设定 | AC200V, 300W | AC200V, 320W | ||||
| 烘烤温度 | 250℃ | ||||||
| 质量 | 9.5 kg | 12kg | 37kg | ||||
| 外形尺寸 | W x H x D | 103×183×187 mm | 153×204×241mm | 155×336×340mm | |||
| 使用环境 | 温度范围 | 5~40℃ | |||||
| 湿度范围 | 85%以下(无结露) | ||||||
| 固定泵的螺栓孔尺寸 | 4处-M5 深10mm | 4处-M8 深6mm | |||||
| 推荐的控制器 | GST-07L-B | ||||||
*1 GST-07L-B型控制器使用时
| 型号 | PST-110AU | PST-200CXII | PST-200AXII | PST-400CXII | PST-400AXII | |
| 主要对象气体 | 活性气体 | 活性气体 | 希有气体 | 活性气体 | 希有气体 | |
| 排气速度* (再生排气速度) | 0.11m3/s (N2 测定时) | 0.2m3/s (N2 测定时) | 0.02m3/s (Ar 测定时) | 0.36m3/s (N2 测定时) | 0.19m3/s (Ar 测定时) | |
| 到达压力 | 10-9Pa | 10-10Pa | ||||
| 动作压力 | 推荐值 | <4.5x10-3Pa | <3.8x10-3Pa | <3.0x10-3Pa | ||
| 内容积 | 6.5x10-3m3 | 11x10-3m3 | 14x10-3m3 | |||
| 泵元件数量 | AU sellx1 | CX sell×2 | AX sell×2 | CX sell×4 | AX sell×4 | |
| 连接法兰规格 | UFC152 | UFC203 | ||||
| 施加电压 | DC+7.5kV | |||||
| 加热器 | 无设定 | AC200V, 600W | AC200V, 800W | |||
| 烘烤温度 | 250℃ | |||||
| 质量 | 36.5kg | 65kg | 124kg | |||
| 外形尺寸 | W x H x D | 171×387×293mm | 296×361×376mm | 296×544×376mm | ||
| 使用环境 | 温度范围 | 5~40℃ | ||||
| 湿度范围 | 85%以下(无结露) | |||||
| 固定泵的螺栓孔尺寸 | 4处-M6 深5mm | 4处-M8 深15mm | 6处-M8 深度15mm | |||
| 推荐的控制器 | GST-07L-B | |||||
*1 GST-07L-B型控制器使用时
| 型号 | GST-07L-B | ||
| 输入规格 | 输入电压、电流 | AC100～115V±10% ・ 50/60Hz～3.0A | |
| AC200～240V±10% ・ 50/60Hz～1.5A | |||
| 泄露电流 | 6mA以下 | ||
| 输入电压切换方式 | 手动(通过电源内部DIP开关操作) | ||
| 输出规格 | 额定电压 | DC +7.5kV(约1.0~7.5kV大小可变) | |
| 额定电流 | DC30mA以下 | ||
| 输出极性 | 正极性 | ||
| 输出特性 | 恒压特性 | ||
| 显示方式 | 数字显示(7段 LED显示） | ||
| 表示范围 | 输出电流显示范围 | 1μA~30mA(mA, μA两种单位自动切换) | |
| 输出电压显示范围 | 0.0～7.5 kV DC | ||
| 压力显示 | Pa | 1×10-8～1×10-2 | |
| mbar | 1×10-10～1×10-4 | ||
| 压力设定点 | 2点 | ||
| 保护功能 | 错误显示/配备各种保护功能 | ||
| 显示亮灯，高电压 (HV) 输出断开 (Err. 0-8) | |||
| 停电后的恢复 | 在HV-ON开关处于ON状态时，停电后可自动恢复。 | ||
| 外部控制功能 | 各种输入功能 (付REMOTE接头), 搭载RS232C通讯控制 | ||
| Monitor端子输出信号 | 根据面板7位显示比例的输出, 各段DC0～10V F.S | ||
| 允许负载阻抗100kΩ以上 | |||
| REMOTE/LOCAL | 通过前面板的开关进行切换 | ||
| 冷却方式 | 强制空冷方式 | ||
| 质量 | 本体 : 4.0kg | ||
| 外形尺寸 | W×H×D | 200 x 99 x 370 mm (架子安装五金件除外) | |
| 使用环境 | 温度范围 | 0 ～ 40℃ | |
| 湿度范围 | 85%以下(无结露) | ||
| 符合规格 | CE, cTUVus | ||
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