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直售ULVAC爱发科 CR30B 多级罗茨型干泵设备
直售ULVAC爱发科 CR30B 多级罗茨型干泵设备
特点
通过对转子轴和铝合金等主要部件进行特殊涂层处理，进行腐蚀。
采用ULVAC 设计的底座轴，实现高性能的排粉。
从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。
目的
半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、离子清洗设备等。
真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等。
锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。
医疗食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。
螺杆型干式真空泵。在传统LS系列的基础上，提高了该耐溶解和粉末排出性能。该型号专为利用溶解气体和有粉末排出的工艺设计
| 型号 | CR16B | CR30B | CR60B-S | CR60B-T | CR300B | |
| 最大排气速度 | m3/h | 16 | 30 | 55 | 300 | |
| L/min | 280 | 500 | 920 | 5000 | ||
| 到达压力 *1 | Pa | ≦3.0 | ≦0.5 | |||
| 最大排气压力（吸入圧力） | 大气压 | |||||
| 最大排气口压力（排出圧力） | 大气压 | |||||
| 电源 *2 | 单相 : 100V, 200V 三相 : 200V | 单相:200V | 三相 : 200V | 三相 : 200V | ||
| 电机额定功率 | kW | 0.72 | 1.5 | 3.0 | ||
| 吸气口 | KF25 | KF40 | KF50 | |||
| 排气口 | KF25 | KF40 | ||||
| 质量 | kg | 35 | 48 | 100 | ||
| 符合规格 | CE、cTUVus | |||||
| 冷却方式 | 空冷 | |||||
| 气镇机构 *3 | 选配件 | |||||
| 最大水蒸气处理量 e *4 | g/h | <300 | <500 | |||
| 标准附件 | 电源用连接器、信号用连接器、使用说明书、空气过滤器、护套 | |||||
※1 极限压力是气镇阀内没有气体时的值。
※2 请从上表中选择使用电源的相位和电压，订购时注明。
※3 气镇用阀门为选装件。
※4 使用气镇时候的最大水蒸气处理量。水蒸气排气时请务必使用 气镇机构。
| 型号 | CR16B | CR30B | CR60B | CR300B | |
| 气镇机构 | 针阀 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
| 电磁阀 + 针阀 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | |
| 橡胶脚垫 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | |
| 型号 | CR16B | CR30B | CR60B | CR300B | |
| 消音器 | RS-01＋套件 D | 〇 | 〇 | - | - |
| RS-01＋套件 A | - | - | 〇 | - | |
| RS-01＋套件 C | - | - | - | 〇 | |
| 简易型消音器 *1 | EFS-11-NW25/2/2516 | 〇 | 〇 | - | - |
| EFS-19-NW40/1 *2 | - | - | 〇 | 〇 | |
| 电源互换BOX | Ver.A→Ver.B | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
*1 由于是滤芯型消音器，因此需要更换维护。
*2 不能连接到管路上。（开放型）
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