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原厂ULVAC爱发科 LR300通用多级罗茨型干泵

简要描述:原厂ULVAC爱发科 LR300通用多级罗茨型干泵
螺杆型干式真空泵。在传统LS系列的基础上,提高了该耐溶解和粉末排出性能。该型号专为利用溶解气体和有粉末排出的工艺设计

  • 产品型号:LR421-T
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-08-10
  • 访  问  量:178
详情介绍

原厂ULVAC爱发科 LR300通用多级罗茨型干泵

原厂ULVAC爱发科 LR300通用多级罗茨型干泵

特点

通过对转子轴和铝合金等主要部件进行特殊涂层处理,进行腐蚀。

采用ULVAC 设计的底座轴,实现高性能的排粉。

从大气压到极限压力,可以在全压力区域连续运行。

目的

半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统,如刻蚀设备、去胶设备、离子清洗设备等。

真空热处理炉真空排气系统,如烧结炉、渗碳炉等。

锂电池制造设备真空排气系统,如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。

医疗食品设备相关的真空排气系统,如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。

螺杆型干式真空泵。在传统LS系列的基础上,提高了该耐溶解和粉末排出性能。该型号专为利用溶解气体和有粉末排出的工艺设计

规格

型号LR60LR90LR180LR421LR421-T
最大
排气速度
50Hz62 m3/h
(1030 L/min)
112 m3/h
(1860 L/min)
183 m3/h
(3100 L/min)
440 m3/h
(7333 L/min)
440 m3/h
(7333 L/min)
60Hz80 m3/h
(1333 L/min)
126 m3/h
(2100 L/min)
237 m3/h
(3950 L/min)
到达压力5.0 Pa
最大排气压力 (吸入圧力) 大气压
最大排气口压力
(排出圧力)
1~ 大气压 Pa
吸气口 (CE规格)VG50(KF50)VG80(KF50)VG100
排气口KF40VG50
质量180 kg245 kg335 kg415 kg
电源 *1三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/
380~440 VAC(50/60 Hz)
电流值稳定时6.9 A
(at 200V)
11.2 A
(at 200V)
18.9 A
(at 200V)
20.8 A
(at 200V)
最大值7.3 A
(at 200V)
11.8 A
(at 200V)
20.6 A
(at 200V)
48.5 A
(at 200V)
冷却水一次压力0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
冷却水出入口压差>0.1 MPa>0.2 MPa
冷却水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
吹扫气一次压力0.1~0.5 MPa
二次压力0.05~0.1 MPa
氮气吹扫5 SLM
气镇0~45 SLM没有0~45 SLM

*1 请订购时 



型号LR300LR600LR1200LR1800LR3601LR3601-T
(TT)
LR3601-RLR3601-TR
(TTR)
使用泵干式
真空泵
LR60LR90LR90LR180LR421LR421-TLR421LR421-T
机械
增压泵
PRC-03APRC-06APRC-012APRC-018APRC-036CPRC-036C
(-T)
PRC-036DPRC-036D
(D-T)
最大
排气
速度
50Hz359 m3/h
(5,980
L/min)
653 m3/h
(10,900
L/min)
1,012 m3/h
(16,900
L/min)
1,701 m3/h
(28,350
L/min)
3,200 m3/h(53,333 L/min)
60Hz365 m3/h
(6,080
L/min)
701 m3/h
(11,700
L/min)
1,051 m3/h
(17,500
L/min)
1,784 m3/h
(29,700
L/min)
到达压力0.67 Pa
最大排气压力
(吸入圧力)
大气压
最大排气口压力
(排出圧力)
1~ 大气压 Pa
吸气口 (CE规格)VG80
(KF80)
VG100
(KF100)
VG150
(KF100)
VG150
排气口KF40KF50
MBP表面处理〇 *1〇 *1〇 *1〇 *1×T:×
TT:×
×TR:×
TTR:〇
质量275 kg370 kg420 kg545 kg660 kg720 kg660 kg720 kg
电源
*2
三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz)
电流值稳定时7.0 A
(at 200V)
12.3 A
(at 200V)
13.7 A
(at 200V)
21.4 A
(at 200V)
31.0 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
35.4 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
最大值9.6 A
(at 200V)
19.0 A
(at 200V)
24.2 A
(at 200V)
39.8 A
(at 200V)
58.4 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
82.0 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
冷却水
一次压力
0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
冷却水
出入口压差
>0.1 MPa0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
冷却水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
吹扫气一次
压力
0.1~0.5 MPa
二次
压力
0.05~0.1 MPa
N2
吹扫
5 SLM
气镇0~45 SLM没有 *30~45 SLM没有 *30~45 SLM

*1 LR300、LR600、LR1200、LR1800可选是否进行MBP表面处理。
*2 请订购时
 
*3 根据用途,使用气镇的规格也可报价。


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