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原厂ULVAC爱发科 LR300通用多级罗茨型干泵
原厂ULVAC爱发科 LR300通用多级罗茨型干泵
特点
通过对转子轴和铝合金等主要部件进行特殊涂层处理，进行腐蚀。
采用ULVAC 设计的底座轴，实现高性能的排粉。
从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。
目的
半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、离子清洗设备等。
真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等。
锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。
医疗食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。
螺杆型干式真空泵。在传统LS系列的基础上，提高了该耐溶解和粉末排出性能。该型号专为利用溶解气体和有粉末排出的工艺设计
| 型号 | LR60 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | |
| 最大 排气速度 | 50Hz | 62 m3/h (1030 L/min) | 112 m3/h (1860 L/min) | 183 m3/h (3100 L/min) | 440 m3/h (7333 L/min) | 440 m3/h (7333 L/min) |
| 60Hz | 80 m3/h (1333 L/min) | 126 m3/h (2100 L/min) | 237 m3/h (3950 L/min) | |||
| 到达压力 | 5.0 Pa | |||||
| 最大排气压力 （吸入圧力） | 大气压 | |||||
| 最大排气口压力 （排出圧力） | 1~ 大气压 Pa | |||||
| 吸气口 (CE规格) | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG100 | |||
| 排气口 | KF40 | VG50 | ||||
| 质量 | 180 kg | 245 kg | 335 kg | 415 kg | ||
| 电源 *1 | 三相 | 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) | 180~240 VAC/ 380~440 VAC(50/60 Hz) | |||
| 电流值 | 稳定时 | 6.9 A (at 200V) | 11.2 A (at 200V) | 18.9 A (at 200V) | 20.8 A (at 200V) | |
| 最大值 | 7.3 A (at 200V) | 11.8 A (at 200V) | 20.6 A (at 200V) | 48.5 A (at 200V) | ||
| 冷却水一次压力 | 0.1~0.3 MPa | 0.2~0.5 MPa | ||||
| 冷却水出入口压差 | >0.1 MPa | >0.2 MPa | ||||
| 冷却水流量 | >5.0 L/min | >4.0 L/min | ||||
| 吹扫气 | 一次压力 | 0.1~0.5 MPa | ||||
| 二次压力 | 0.05~0.1 MPa | |||||
| 氮气吹扫 | 轴 | 5 SLM | ||||
| 气镇 | 0~45 SLM | 没有 | 0~45 SLM | |||
*1 请订购时
| 型号 | LR300 | LR600 | LR1200 | LR1800 | LR3601 | LR3601-T (TT) | LR3601-R | LR3601-TR (TTR) | |
| 使用泵 | 干式 真空泵 | LR60 | LR90 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | LR421 | LR421-T |
| 机械 增压泵 | PRC-03A | PRC-06A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C | PRC-036C (-T) | PRC-036D | PRC-036D (D-T) | |
| 最大 排气 速度 | 50Hz | 359 m3/h (5,980 L/min) | 653 m3/h (10,900 L/min) | 1,012 m3/h (16,900 L/min) | 1,701 m3/h (28,350 L/min) | 3,200 m3/h(53,333 L/min) | |||
| 60Hz | 365 m3/h (6,080 L/min) | 701 m3/h (11,700 L/min) | 1,051 m3/h (17,500 L/min) | 1,784 m3/h (29,700 L/min) | |||||
| 到达压力 | 0.67 Pa | ||||||||
| 最大排气压力 （吸入圧力） | 大气压 | ||||||||
| 最大排气口压力 （排出圧力） | 1~ 大气压 Pa | ||||||||
| 吸气口 (CE规格) | VG80 (KF80) | VG100 (KF100) | VG150 (KF100) | VG150 | |||||
| 排气口 | KF40 | KF50 | |||||||
| MBP表面处理 | 〇 *1 | 〇 *1 | 〇 *1 | 〇 *1 | × | T:× TT:× | × | TR:× TTR:〇 | |
| 质量 | 275 kg | 370 kg | 420 kg | 545 kg | 660 kg | 720 kg | 660 kg | 720 kg | |
| 电源 *2 | 三相 | 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) | 180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz) | ||||||
| 电流值 | 稳定时 | 7.0 A (at 200V) | 12.3 A (at 200V) | 13.7 A (at 200V) | 21.4 A (at 200V) | 31.0 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | 35.4 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | ||
| 最大值 | 9.6 A (at 200V) | 19.0 A (at 200V) | 24.2 A (at 200V) | 39.8 A (at 200V) | 58.4 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | 82.0 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | |||
| 冷却水 一次压力 | 0.1~0.3 MPa | 0.2~0.5 MPa | |||||||
| 冷却水 出入口压差 | >0.1 MPa | 0.1~0.3 MPa | 0.2~0.5 MPa | ||||||
| 冷却水流量 | >5.0 L/min | >4.0 L/min | |||||||
| 吹扫气 | 一次 压力 | 0.1~0.5 MPa | |||||||
| 二次 压力 | 0.05~0.1 MPa | ||||||||
| N2 吹扫 | 轴 | 5 SLM | |||||||
| 气镇 | 0~45 SLM | 没有 *3 | 0~45 SLM | 没有 *3 | 0~45 SLM | ||||
*1 LR300、LR600、LR1200、LR1800可选是否进行MBP表面处理。
*2 请订购时
*3 根据用途，使用气镇的规格也可报价。
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