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新产品ULVAC爱发科 通用螺杆型干泵MS600A
特点
通过对转子轴和铝合金等主要部件进行特殊涂层处理，进行腐蚀。
采用ULVAC 设计的底座轴，实现高性能的排粉。
从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。
目的
半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、离子清洗设备等。
真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等。
锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。
医疗食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。
螺杆型干式真空泵。在传统LS系列的基础上，提高了该耐溶解和粉末排出性能。该型号专为利用溶解气体和有粉末排出的工艺设计
| 型式 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
| 最大排气速度*1 | 立方米/小时 | 115 | 560 | 980 |
| 累计重量 | 帕 | ≦0.6 | ≦0.1 | |
| 电源电压 | 200V级：3相, 50/60Hz, AC200-240V±10% 或 400V级：3相, 50/60Hz, AC380-480V±10% | |||
| 消费电力概略值*2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷却水量 | 升/分钟 | >4.0 | ||
| 吹扫气体量 *1 | 空间光调制器 | 0~50 | ||
| 最大水蒸气处理量*1*3 | 公斤/小时 | 1.5 | ||
| 噪音值*1 | 分贝(声级) | 61 | 62 | 64 |
| 吸氣口 | KF50(卧式) / VG50(立式) | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 排气口 | KF40 | |||
| 质量 *4 | 公斤 | 139 | 241 | 264 |
| 适用规格 | CE、cTUVus | |||
| 标准附属产品 | 快速手册、电源连接器、防水电缆夹、遥控连接器、电源连接器防护罩、消音器 | |||
| 本体选配件 | 电源：200V级或400V级 密封材质：FKM或FFKM | |||
| 外部选配件 | 包装排气口、防震支架、LR 兼容单元（入口、远程）、吹扫气阀 | |||
*1：到达压力时
*2：极限压力（仅供参考）
*3：净化气体使用时的最大水蒸气处理量
*4：包括消音器
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