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新产品ULVAC爱发科 通用螺杆型干泵MS600A

简要描述:新产品ULVAC爱发科 通用螺杆型干泵MS600A
螺杆型干式真空泵。在传统LS系列的基础上,提高了该耐溶解和粉末排出性能。该型号专为利用溶解气体和有粉末排出的工艺设计

  • 产品型号:MS120A
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-08-10
  • 访  问  量:167
详情介绍

新产品ULVAC爱发科 通用螺杆型干泵MS600A

新产品ULVAC爱发科 通用螺杆型干泵MS600A

特点

通过对转子轴和铝合金等主要部件进行特殊涂层处理,进行腐蚀。

采用ULVAC 设计的底座轴,实现高性能的排粉。

从大气压到极限压力,可以在全压力区域连续运行。

目的

半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统,如刻蚀设备、去胶设备、离子清洗设备等。

真空热处理炉真空排气系统,如烧结炉、渗碳炉等。

锂电池制造设备真空排气系统,如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。

医疗食品设备相关的真空排气系统,如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。

螺杆型干式真空泵。在传统LS系列的基础上,提高了该耐溶解和粉末排出性能。该型号专为利用溶解气体和有粉末排出的工艺设计

规格

型式MS120AMS600AMS1200A
最大排气速度*1立方米/小时115560980
累计重量≦0.6≦0.1
电源电压200V级:3相, 50/60Hz, AC200-240V±10% 或 400V级:3相, 50/60Hz, AC380-480V±10%
消费电力概略值*2千瓦2.43.13.1
冷却水量升/分钟>4.0
吹扫气体量 *1空间光调制器0~50
最大水蒸气处理量*1*3公斤/小时1.5
噪音值*1分贝(声级)616264
吸氣口KF50(卧式) / VG50(立式)ISO-F-80ISO-F-100
排气口KF40
质量 *4公斤139241264
适用规格CE、cTUVus
标准附属产品快速手册、电源连接器、防水电缆夹、遥控连接器、电源连接器防护罩、消音器
本体选配件电源:200V级或400V级
密封材质:FKM或FFKM
外部选配件包装排气口、防震支架、LR 兼容单元(入口、远程)、吹扫气阀

*1:到达压力时
*2:极限压力(仅供参考)
*3:净化气体使用时的最大水蒸气处理量
*4:包括消音器


排气速度曲线

  • MS120A
    新产品ULVAC爱发科 通用螺杆型干泵MS600A

  • MA600A
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  • MS1200A
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