全新HORIBA堀场 数字质量流量控制器 SEC-Z500X系列

全新HORIBA堀场 数字质量流量控制器 SEC-Z500X系列

全新HORIBA堀场 数字质量流量控制器 SEC-Z500X系列

 数字质量流量控制器型号，配备多范围/多气体功能，允许用户更改气体类型和流量范围。

实现±1.0%SP的高精度、全量程1秒内高速响应、5SCCM～500SLM的宽量程。通讯方式可以从数字/模拟、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 通讯中选择。该质量流量控制器不仅适用于先进工艺，而且适用于各种制造工艺。

多量程/多气体兼容。

气体类型和满量程流量可在用户侧更改。通过减少备件数量，有助于降低成本。

从微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制

保证高精度

±1.0% SP（设定点）

1秒内高速响应

全量程（T98） 

尺寸紧凑，

面间距106mm（50SLM以下，1/4VCR型），兼容1.125英寸燃气面板。

采用超洁净兼容

气体接触部分，全不锈钢结构，标准内部抛光处理。

日本Horiba STEC SEC-Z500系列气体质量流量控制器适用于提高工艺产量和简化零件管理。数字/模拟、DeviceNet™和EtherCAT通信都可用。

日本Horiba STEC SEC-Z500系列气体质量流量控制器产品简介：

SEC-Z500X是HORIBA畅销的数字质量流量控制器模型。它具有多范围/多气体功能，使用户能够快速、方便地改变气体类型或现场全流量。

该质量流量控制器具有高精度+/-1.0%S.P、压电致动阀、高速响应和全金属特性，适用于提高工艺产量和简化零件管理。数字/模拟、DeviceNet™和EtherCAT通信都可用。