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全新HORIBA堀场 数字质量流量控制器 SEC-Z500X系列
数字质量流量控制器型号,配备多范围/多气体功能,允许用户更改气体类型和流量范围。
实现±1.0%SP的高精度、全量程1秒内高速响应、5SCCM~500SLM的宽量程。通讯方式可以从数字/模拟、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 通讯中选择。该质量流量控制器不仅适用于先进工艺,而且适用于各种制造工艺。
多量程/多气体兼容。
气体类型和满量程流量可在用户侧更改。通过减少备件数量,有助于降低成本。
从微流量(5SCCM FS)到大流量(500SLM FS)均可控制
保证高精度
±1.0% SP(设定点)
1秒内高速响应
全量程(T98)
尺寸紧凑,
面间距106mm(50SLM以下,1/4VCR型),兼容1.125英寸燃气面板。
采用超洁净兼容
气体接触部分,全不锈钢结构,标准内部抛光处理。
日本Horiba STEC SEC-Z500系列气体质量流量控制器适用于提高工艺产量和简化零件管理。数字/模拟、DeviceNet™和EtherCAT通信都可用。
日本Horiba STEC SEC-Z500系列气体质量流量控制器产品简介:
SEC-Z500X是HORIBA畅销的数字质量流量控制器模型。它具有多范围/多气体功能,使用户能够快速、方便地改变气体类型或现场全流量。
该质量流量控制器具有高精度+/-1.0%S.P、压电致动阀、高速响应和全金属特性,适用于提高工艺产量和简化零件管理。数字/模拟、DeviceNet™和EtherCAT通信都可用。
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