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日本USHIO牛尾 UXM-501MD 深紫外灯

简要描述:日本USHIO牛尾 UXM-501MD 深紫外灯
USHIO 一直提供专门用于服务器、个人电脑、智能手机和平板电脑等移动设备中使用的 封装应用的步进机。这是一款封装基板用步进机,采用了Ushio多年来积累的光源和光学技术以及我们 的大面积投影透镜技术,并使用了与面板尺寸相对应的平台。它实现了高生产率,同时实现了封

  • 产品型号:UXM 501MD
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-08-06
  • 访  问  量:224
详情介绍

日本USHIO牛尾 UXM-501MD 深紫外灯

日本USHIO牛尾 UXM-501MD 深紫外灯

USHIO 一直提供专门用于服务器、个人电脑、智能手机和平板电脑等移动设备中使用的封装应用的步进机。这是一款封装基板用步进机,采用了Ushio多年来积累的光源和光学技术以及我们 的大面积投影透镜技术,并使用了与面板尺寸相对应的平台。它实现了高生产率,同时实现了封装基板所需的高分辨率和覆盖精度。

[元件技术]

配备全球占有率第一的超高压UV灯

具有高均匀性的 照射光学系统

的大面积投影镜头

响应基板特定畸变的对准技术

的TTL非曝光波长/对准方法

Ushio的技术“TTL非曝光波长对准"在观察掩模标记时无需暴露基板上的对准标记。此外,由于可以直接观察工件标记,因此不会因掩模而降低对比度,并且可以与清晰的标记进行高精度对准。

兼容多种对准标记

由于支持对已登记图案的图案匹配,因此无需专用对准标记,即可与各种布线图案进行对准。

高分辨率能力

配备Ushio投影镜头“UPL系列"以实现高分辨率。支持全面量产,设计规则线距=5μm。

深景深

由于焦点深度较深(±50 至 100 μm),因此即使由于基板的台阶、翘曲或波纹而导致焦点偏离,也可以获得与正确对焦时相同的图案轮廓。当曝光较厚的干膜、阻焊剂等时尤其有效。

使用表面平台进行高速步进和重复

通过使用精密空气轴承消除摩擦,并通过平面电机结构使运动部件更轻、更坚固,实现了高速步进重复操作。此外,表面平台使用激光干涉仪进行反馈控制,实现高速运行和高定位精度。

面罩无损伤

 

模型额定灯输入(W)灯电压(V)水平辐照度(μW/cm 2总光通量(lm)冷电极距离(mm)平均寿命(小时)产品规格
210~300nm360~370nm
UXM-501MD50025±2280180200003600PDF319KB 


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