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日本ORC欧阿希 VUE-3020-172手持式准分子照射装置
它是一种小型轻便的手持式测量仪器。适用于管理生产现场配备紫外线灯的设备。
请使用它来管理紫外线灯的紫外线照射量（照度/光量）。
这是一种小型、轻量的手持式，可让您轻松管理曝光设备的照度和光量。可以轻松测量紫外线照度和光强度。根据您正在使用（或计划使用）的光源以及抗蚀剂的灵敏度等选择UV-25、35或42的接收器。测量数据可通过RS-232C通信输出传输。它还具有模拟输出。它是一种小型轻便的手持式测量仪器。适用于管理生产现场配备紫外线灯的设备。
请使用它来管理紫外线灯的紫外线照射量（照度/光量）。
采用254nm波长， 去除电荷。
单波长允许低温处理。
用低入射角紫外线有效照射目标区域。
提高了LSI的成品率和可靠性。
闪存、其他非易失性存储器、图像传感器等的电荷去除和数据擦除。
这是一种小型、轻量的手持式，可让您轻松管理曝光设备的照度和光量。可以轻松测量紫外线照度和光强度。根据您正在使用（或计划使用）的光源以及抗蚀剂的灵敏度等选择UV-25、35或42的接收器。测量数据可通过RS-232C通信输出传输。它还具有模拟输出。
阻焊剂形成
FC-BGA板/FC-CSP板AiP等各种模块板HDI板
各种其他敏感材料的曝光
Photovia、覆盖膜等
实现了40μm的抗蚀剂开口，这对应于封装基板的小型化。 (EDi-5308)配备新型UV灯光源，光强度显着提高，与之前的型号相比，生产率提高了10%。 (EDi-8308)由于紫外灯光源的宽带波长，可以使用多种敏感材料。高精度校正技术DAT和新型高精度平台实现了6μm的高位置精度（EDi-5308）通过Die by Die对齐功能（可选功能）解决FO-PLP的Die移位问题兼容最大 25"X32" 的大型板 (EDi-8310)
规格
| 模型 | VUE-3020 |
|---|---|
| 使用的灯 | 特殊准分子灯 x 1 灯 |
| 灯尺寸 | Φ10×L50mm |
| 灯发射波长 | 172nm・207nm・222nm・308nm* |
| 有效照射范围 | 42毫米×4毫米 |
| 电源 | AC100V 0.5A 50/60Hz 共用 |
| 电力 | 20W |
| 外形尺寸 | 宽130×深73×高217毫米 |
| 重量 | 1.35公斤 |
*照射波长为单一波长，可从列出的波长中选择。当红色波长点亮时会产生臭氧。暴露于高浓度臭氧可能危害您的健康。请务必在允许进排气的环境中使用本产品。
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