模型 | Exa-Ms5 |
---|---|
照明系统 | 准分子激光 |
解决 | Φ5微米 |
加工尺寸 | 70x70毫米 |
对位精度 | 3σ < 3.0 微米 |
电路板尺寸(最大) | 510x515毫米 |
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全新ORC欧阿希 EXA-MS5准分子加工设备
它是一种小型轻便的手持式测量仪器。适用于管理生产现场配备紫外线灯的设备。
请使用它来管理紫外线灯的紫外线照射量(照度/光量)。
这是一种小型、轻量的手持式,可让您轻松管理曝光设备的照度和光量。可以轻松测量紫外线照度和光强度。根据您正在使用(或计划使用)的光源以及抗蚀剂的灵敏度等选择UV-25、35或42的接收器。测量数据可通过RS-232C通信输出传输。它还具有模拟输出。它是一种小型轻便的手持式测量仪器。适用于管理生产现场配备紫外线灯的设备。
请使用它来管理紫外线灯的紫外线照射量(照度/光量)。
采用254nm波长, 去除电荷。
单波长允许低温处理。
用低入射角紫外线有效照射目标区域。
提高了LSI的成品率和可靠性。
闪存、其他非易失性存储器、图像传感器等的电荷去除和数据擦除。
这是一种小型、轻量的手持式,可让您轻松管理曝光设备的照度和光量。可以轻松测量紫外线照度和光强度。根据您正在使用(或计划使用)的光源以及抗蚀剂的灵敏度等选择UV-25、35或42的接收器。测量数据可通过RS-232C通信输出传输。它还具有模拟输出。
封装板 绝缘材料 过孔成型
通过沟槽加工形成电路
微加工性能高,可加工Φ5μm过孔。掩膜设计可同时容纳大小过孔、矩形等多种形状。无论通孔数量有多少,生产率都是恒定的,并且相同数量的机器可以处理未来通孔数量的增加。由于精细的通孔加工性能和高精度对准性能,可以实现 40μm 或更小的凸块间距。
规格
模型 | Exa-Ms5 |
---|---|
照明系统 | 准分子激光 |
解决 | Φ5微米 |
加工尺寸 | 70x70毫米 |
对位精度 | 3σ < 3.0 微米 |
电路板尺寸(最大) | 510x515毫米 |
电话
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