光源 | 有效曝光尺寸 | 基材宽度 | 解决 | 吞吐量 | 总体叠加精度 | |
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RDi-10 双核 | 半导体激光器 | 635x520毫米 | 250mm 宽 x 2 个水槽(500mm 宽 x 1 个水槽也可以) | 10μm长/秒 | 38秒/平面@30mJ MD:500mm | 6μm |
RDi-MP | 半导体激光器 | 515x260毫米 | 250mm(*其他要求可协商) | 4μm长/秒 | 45秒/平面@55mJ MD:515mm | 3.5μm |
RDi-MP 二重奏 | 半导体激光器 | 515x590毫米 | 250mm宽x 2个主水槽(*其他要求可协商) | 4μm长/秒 | 44秒/平面@50mJ MD:500mm | 3.5μm |
RDiー80 | 紫外线灯 | 635x520毫米 | 250/500毫米 | 30μm L/S / Φ80μm | 58秒/平面@150mJ 69秒/平面@200mJ MD:610mm | 7μm |