光源 | 解决 | 最大曝光尺寸 | 总体叠加精度 | |
---|---|---|---|---|
EDi-5308 | 紫外线灯 | SRO:Φ40μm | 635x535毫米 | 6μm |
EDi-8308 | 紫外线灯 | SRO:Φ80μm | 635x535毫米 | 7μm |
EDi-8310 | 紫外线灯 | SRO:Φ80μm | 813x635毫米 | 7μm |
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原厂ORC欧阿希 EDi-5308电子线路板用直描式曝光机
它是一种小型轻便的手持式测量仪器。适用于管理生产现场配备紫外线灯的设备。
请使用它来管理紫外线灯的紫外线照射量(照度/光量)。
这是一种小型、轻量的手持式,可让您轻松管理曝光设备的照度和光量。可以轻松测量紫外线照度和光强度。根据您正在使用(或计划使用)的光源以及抗蚀剂的灵敏度等选择UV-25、35或42的接收器。测量数据可通过RS-232C通信输出传输。它还具有模拟输出。它是一种小型轻便的手持式测量仪器。适用于管理生产现场配备紫外线灯的设备。
请使用它来管理紫外线灯的紫外线照射量(照度/光量)。
采用254nm波长, 去除电荷。
单波长允许低温处理。
用低入射角紫外线有效照射目标区域。
提高了LSI的成品率和可靠性。
闪存、其他非易失性存储器、图像传感器等的电荷去除和数据擦除。
这是一种小型、轻量的手持式,可让您轻松管理曝光设备的照度和光量。可以轻松测量紫外线照度和光强度。根据您正在使用(或计划使用)的光源以及抗蚀剂的灵敏度等选择UV-25、35或42的接收器。测量数据可通过RS-232C通信输出传输。它还具有模拟输出。
阻焊剂形成
FC-BGA板/FC-CSP板AiP等各种模块板HDI板
各种其他敏感材料的曝光
Photovia、覆盖膜等
实现了40μm的抗蚀剂开口,这对应于封装基板的小型化。 (EDi-5308)配备新型UV灯光源,光强度显着提高,与之前的型号相比,生产率提高了10%。 (EDi-8308)由于紫外灯光源的宽带波长,可以使用多种敏感材料。高精度校正技术DAT和新型高精度平台实现了6μm的高位置精度(EDi-5308)通过Die by Die对齐功能(可选功能)解决FO-PLP的Die移位问题兼容最大 25"X32" 的大型板 (EDi-8310)
规格
光源 | 解决 | 最大曝光尺寸 | 总体叠加精度 | |
---|---|---|---|---|
EDi-5308 | 紫外线灯 | SRO:Φ40μm | 635x535毫米 | 6μm |
EDi-8308 | 紫外线灯 | SRO:Φ80μm | 635x535毫米 | 7μm |
EDi-8310 | 紫外线灯 | SRO:Φ80μm | 813x635毫米 | 7μm |
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