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全新ORC欧阿希 VUM-3500半导体用UV照射设备

简要描述:全新ORC欧阿希 VUM-3500半导体用UV照射设备
它是一种小型轻便的手持式测量仪器。适用于管理生产现场配备紫外线灯的设备。
请使用它来管理紫外线灯的紫外线照射量(照度/光量)。

  • 产品型号:VUM3500
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-08-06
  • 访  问  量:244
详情介绍

全新ORC欧阿希  VUM-3500半导体用UV照射设备

全新ORC欧阿希  VUM-3500半导体用UV照射设备

它是一种小型轻便的手持式测量仪器。适用于管理生产现场配备紫外线灯的设备。
请使用它来管理紫外线灯的紫外线照射量(照度/光量)。


这是一种小型、轻量的手持式,可让您轻松管理曝光设备的照度和光量。可以轻松测量紫外线照度和光强度。根据您正在使用(或计划使用)的光源以及抗蚀剂的灵敏度等选择UV-25、35或42的接收器。测量数据可通过RS-232C通信输出传输。它还具有模拟输出。它是一种小型轻便的手持式测量仪器。适用于管理生产现场配备紫外线灯的设备。
请使用它来管理紫外线灯的紫外线照射量(照度/光量)。

采用254nm波长, 去除电荷。

单波长允许低温处理。

用低入射角紫外线有效照射目标区域。

提高了LSI的成品率和可靠性。

闪存、其他非易失性存储器、图像传感器等的电荷去除和数据擦除。
这是一种小型、轻量的手持式,可让您轻松管理曝光设备的照度和光量。可以轻松测量紫外线照度和光强度。根据您正在使用(或计划使用)的光源以及抗蚀剂的灵敏度等选择UV-25、35或42的接收器。测量数据可通过RS-232C通信输出传输。它还具有模拟输出。


模型VUM-3500
晶圆尺寸Φ300毫米(标准)
同时处理数15 件
盒式磁带格式晶圆传送盒
晶圆运输自动输送
灯数量20 件
照度测量自动测量

 


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