相关文章
Related Articles全新ORC欧阿希 VUM-3500半导体用UV照射设备
全新ORC欧阿希 VUM-3500半导体用UV照射设备
它是一种小型轻便的手持式测量仪器。适用于管理生产现场配备紫外线灯的设备。
请使用它来管理紫外线灯的紫外线照射量(照度/光量)。
这是一种小型、轻量的手持式,可让您轻松管理曝光设备的照度和光量。可以轻松测量紫外线照度和光强度。根据您正在使用(或计划使用)的光源以及抗蚀剂的灵敏度等选择UV-25、35或42的接收器。测量数据可通过RS-232C通信输出传输。它还具有模拟输出。它是一种小型轻便的手持式测量仪器。适用于管理生产现场配备紫外线灯的设备。
请使用它来管理紫外线灯的紫外线照射量(照度/光量)。
采用254nm波长, 去除电荷。
单波长允许低温处理。
用低入射角紫外线有效照射目标区域。
提高了LSI的成品率和可靠性。
闪存、其他非易失性存储器、图像传感器等的电荷去除和数据擦除。
这是一种小型、轻量的手持式,可让您轻松管理曝光设备的照度和光量。可以轻松测量紫外线照度和光强度。根据您正在使用(或计划使用)的光源以及抗蚀剂的灵敏度等选择UV-25、35或42的接收器。测量数据可通过RS-232C通信输出传输。它还具有模拟输出。
模型 | VUM-3500 |
---|---|
晶圆尺寸 | Φ300毫米(标准) |
同时处理数 | 15 件 |
盒式磁带格式 | 晶圆传送盒 |
晶圆运输 | 自动输送 |
灯数量 | 20 件 |
照度测量 | 自动测量 |
电话
微信扫一扫