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58彩票cn官网版 ORC欧阿希 PPS-8500半导体曝光设备仪器
它是一种小型轻便的手持式测量仪器。适用于管理生产现场配备紫外线灯的设备。
请使用它来管理紫外线灯的紫外线照射量（照度/光量）。
大型面板专用步进机
兼容因热处理而高度翘曲的电路板以及具有扭曲的重新布线表面的电路板。
能够利用最佳的吸附方式吸附并输送翘曲的工件
具有多点对焦的自动对焦功能
支持面板伸缩的对齐功能
配备分割全局对准、逐个镜头（逐个芯片）对准和标线缩放功能
兼容各种应用
兼容WL-CSP、IGBT、CIS等6/8/12英寸光刻机
宽带曝光（自动切换配方GHI线GH线、I线联动）配备变量NA功能（0.16和0.1变量）标线设计格式最多 8 个区域光学系统免受周围环境中的抗蚀剂脱气和化学物质的影响兼容各种应用
兼容WL-CSP、IGBT、CIS等6/8/12英寸光刻机
宽带曝光（自动切换配方GHI线GH线、I线联动）配备变量NA功能（0.16和0.1变量）标线设计格式最多 8 个区域光学系统免受周围环境中的抗蚀剂脱气和化学物质的影响兼容各种应用
兼容WL-CSP、IGBT、CIS等6/8/12英寸光刻机
宽带曝光（自动切换配方GHI线GH线、I线联动）配备变量NA功能（0.16和0.1变量）标线设计格式最多 8 个区域光学系统免受周围环境中的抗蚀剂脱气和化学物质的影响
| 模型 | PPS-8500 |
|---|---|
| 面板尺寸 | 510 x 515mm（最大） |
| 解决 | 2.0 µmL/S（2.0 µm 抗蚀剂厚度） |
| NA（数值孔径） | 0.16、0.1 变量 |
| 减速比 | 1:1 |
| 场地大小 | 52毫米×33毫米 |
| 曝光波长 | ghi-Line gh-line i-line（食谱链接） |
| 标线尺寸 | 6寸 |
| 叠加精度 | ≤1.0 µm(|平均|+3σ) |
| 设备尺寸/重量 | (宽)3,000×(深)4,800×(高)2,500mm / 11,000kg |
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