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全新ORC欧阿希 PPS-8200P1半导体曝光设备

简要描述:全新ORC欧阿希 PPS-8200P1半导体曝光设备
它是一种小型轻便的手持式测量仪器。适用于管理生产现场配备紫外线灯的设备。
请使用它来管理紫外线灯的紫外线照射量(照度/光量)。

  • 产品型号:PPS8200P1
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-08-06
  • 访  问  量:218
详情介绍

全新ORC欧阿希  PPS-8200P1半导体曝光设备 

全新ORC欧阿希  PPS-8200P1半导体曝光设备 

它是一种小型轻便的手持式测量仪器。适用于管理生产现场配备紫外线灯的设备。
请使用它来管理紫外线灯的紫外线照射量(照度/光量)。


这是一种小型、轻量的手持式,可让您轻松管理曝光设备的照度和光量。可以轻松测量紫外线照度和光强度。根据您正在使用(或计划使用)的光源以及抗蚀剂的灵敏度等选择UV-25、35或42的接收器。测量数据可通过RS-232C通信输出传输。它还具有模拟输出。它是一种小型轻便的手持式测量仪器。适用于管理生产现场配备紫外线灯的设备。
请使用它来管理紫外线灯的紫外线照射量(照度/光量)。


这是一种小型、轻量的手持式,可让您轻松管理曝光设备的照度和光量。可以轻松测量紫外线照度和光强度。根据您正在使用(或计划使用)的光源以及抗蚀剂的灵敏度等选择UV-25、35或42的接收器。测量数据可通过RS-232C通信输出传输。它还具有模拟输出。


模型PPS-8200p1/8300p1
晶圆尺寸6/8/12英寸
解决2.0 µmL/S(2.0 µm 抗蚀剂厚度)
NA(数值孔径)0.16、0.1 变量
减速比1:1
场地大小52毫米×33毫米
曝光波长ghi-Line gh-line i-line(食谱链接)
标线尺寸6寸
叠加精度≤0.5 µm(|平均|+3σ)
设备尺寸/重量(宽)2,260 x (深)3,460 x (高)2,500mm / 5,500kg
主要选项背面对准系统
晶圆周边曝光系统
晶圆周边非曝光系统
薄晶圆输送系统
兼容GEM通信
内联兼容



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