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全新ORC欧阿希 PPS-8200P1半导体曝光设备
它是一种小型轻便的手持式测量仪器。适用于管理生产现场配备紫外线灯的设备。
请使用它来管理紫外线灯的紫外线照射量（照度/光量）。
这是一种小型、轻量的手持式，可让您轻松管理曝光设备的照度和光量。可以轻松测量紫外线照度和光强度。根据您正在使用（或计划使用）的光源以及抗蚀剂的灵敏度等选择UV-25、35或42的接收器。测量数据可通过RS-232C通信输出传输。它还具有模拟输出。它是一种小型轻便的手持式测量仪器。适用于管理生产现场配备紫外线灯的设备。
请使用它来管理紫外线灯的紫外线照射量（照度/光量）。
这是一种小型、轻量的手持式，可让您轻松管理曝光设备的照度和光量。可以轻松测量紫外线照度和光强度。根据您正在使用（或计划使用）的光源以及抗蚀剂的灵敏度等选择UV-25、35或42的接收器。测量数据可通过RS-232C通信输出传输。它还具有模拟输出。
| 模型 | PPS-8200p1/8300p1 |
|---|---|
| 晶圆尺寸 | 6/8/12英寸 |
| 解决 | 2.0 µmL/S（2.0 µm 抗蚀剂厚度） |
| NA（数值孔径） | 0.16、0.1 变量 |
| 减速比 | 1:1 |
| 场地大小 | 52毫米×33毫米 |
| 曝光波长 | ghi-Line gh-line i-line（食谱链接） |
| 标线尺寸 | 6寸 |
| 叠加精度 | ≤0.5 µm(|平均|+3σ) |
| 设备尺寸/重量 | (宽)2,260 x (深)3,460 x (高)2,500mm / 5,500kg |
| 主要选项 | 背面对准系统 晶圆周边曝光系统 晶圆周边非曝光系统 薄晶圆输送系统 兼容GEM通信 内联兼容 |
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