全新进口 ROOKS 流量控制器/仪表 GF126

全新进口 ROOKS 流量控制器/仪表  GF126

全新进口 ROOKS 流量控制器/仪表  GF126

一台设备支持多种气体，最大限度地提高工艺灵活性和生产率。 系列弹性密封质量流量控制器/仪表采用 Brooks Instrument 的 MultiFlo™ 技术，非常适合使用多种气体、经常更改气体类型或保持气体测量和控制精度的应用，是系统、过程和设施的理想选择。需要重新确定范围。凭借的流量测量和控制性能，将您的过程灵活性提升到一个新的水平。

利用 MultiFlo™ 技术最大限度地延长工艺生产正常运行时间，该技术支持新的气体校准和满量程范围，而无需从气体管线中拆除质量流量控制器 (MFC)。

简单易懂的 MultiFlo™ 编程：60 秒内即可在不同气体选择之间切换

减少 OEM 和大型最终用户拥有的具有固定气体类型和流量范围的控制器库存

通过基于全球标准的高性能测量系统和校准实现的过程气体精度

耐腐蚀传感器提供传感器的长期稳定性，确保最大产量和吞吐量

用户可访问的服务端口简化了故障排除和诊断

弹性体密封件能够以合理的成本在各种应用中提供灵活的性能

支持多种协议通信接口集成到现有系统中

利用 MultiFlo™ 技术最大限度地延长工艺生产正常运行时间，该技术支持新的气体校准和满量程范围，而无需从气体管线中拆除质量流量控制器 (MFC)

高性能组件经过半导体行业标准的持续测试以确保可靠性

耐腐蚀的全金属流路，具有减少的表面积和死体积，可在吹扫过程中加快干燥时间

MultiFlo™ 允许在 60 秒内设置新的工艺气体和/或范围，而无需移除或重新校准 MFC