新品 ROOKS 长期稳定性流量控制设备SLAMf-51
新品 ROOKS 长期稳定性流量控制设备SLAMf-51
一台设备支持多种气体,最大限度地提高工艺灵活性和生产率。 系列弹性密封质量流量控制器/仪表采用 Brooks Instrument 的 MultiFlo™ 技术,非常适合使用多种气体、经常更改气体类型或保持气体测量和控制精度的应用,是系统、过程和设施的理想选择。需要重新确定范围。凭借的流量测量和控制性能,将您的过程灵活性提升到一个新的水平。
利用 MultiFlo™ 技术最大限度地延长工艺生产正常运行时间,该技术支持新的气体校准和满量程范围,而无需从气体管线中拆除质量流量控制器 (MFC)。
简单易懂的 MultiFlo™ 编程:60 秒内即可在不同气体选择之间切换
减少 OEM 和大型最终用户拥有的具有固定气体类型和流量范围的控制器库存
通过基于全球标准的高性能测量系统和校准实现的过程气体精度
耐腐蚀传感器提供传感器的长期稳定性,确保最大产量和吞吐量
用户可访问的服务端口简化了故障排除和诊断
弹性体密封件能够以合理的成本在各种应用中提供灵活的性能
支持多种协议通信接口集成到现有系统中
利用 MultiFlo™ 技术最大限度地延长工艺生产正常运行时间,该技术支持新的气体校准和满量程范围,而无需从气体管线中拆除质量流量控制器 (MFC)
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