新品 ROOKS 可重复性控制仪器仪表 SLA5853

新品 ROOKS 可重复性控制仪器仪表 SLA5853 

新品 ROOKS 可重复性控制仪器仪表 SLA5853 

一台设备支持多种气体，最大限度地提高工艺灵活性和生产率。 GF40 系列弹性密封质量流量控制器/仪表采用 Brooks Instrument 的 MultiFlo™ 技术，非常适合使用多种气体、经常更改气体类型或保持气体测量和控制精度的应用，是系统、过程和设施的理想选择。需要重新确定范围。凭借的流量测量和控制性能，将您的过程灵活性提升到一个新的水平。

利用 MultiFlo™ 技术最大限度地延长工艺生产正常运行时间，该技术支持新的气体校准和满量程范围，而无需从气体管线中拆除质量流量控制器 (MFC)。

简单易懂的 MultiFlo™ 编程：60 秒内即可在不同气体选择之间切换

减少 OEM 和大型最终用户拥有的具有固定气体类型和流量范围的控制器库存

通过基于全球标准的高性能测量系统和校准实现的过程气体精度

耐腐蚀传感器提供传感器的长期稳定性，确保最大产量和吞吐量

用户可访问的服务端口简化了故障排除和诊断

弹性体密封件能够以合理的成本在各种应用中提供灵活的性能

支持多种协议通信接口集成到现有系统中

利用 MultiFlo™ 技术最大限度地延长工艺生产正常运行时间，该技术支持新的气体校准和满量程范围，而无需从气体管线中拆除质量流量控制器 (MFC)。

简单易懂的 MultiFlo™ 编程：60 秒内即可在不同气体选择之间切换

减少 OEM 和大型最终用户拥有的具有固定气体类型和流量范围的控制器库存

通过基于全球标准的高性能测量系统和校准实现的过程气体精度

耐腐蚀传感器提供传感器的长期稳定性，确保最大产量和吞吐量

用户可访问的服务端口简化了故障排除和诊断

弹性体密封件能够以合理的成本在各种应用中提供灵活的性能

支持多种协议通信接口集成到现有系统中

流量范围（满量程容量）3 sccm - 50 slpm

准确性

SP 35-100% 的 1%，FS 2-35% 的 0.35%

再现性

0.20% SP

线性度

±0.5% FS（包含在精度内）

响应时间

常闭阀：300 毫秒 -<1 秒

多气体多范围MultiFlo™ 可用

控制范围

2-100%

垃圾箱数量

10 个垃圾箱

阀门关闭

当设定点低于满量程的 1.5% 时关闭阀门

零稳定性每年 <±0.5% FS

压力系数

0.03% 每 psi (0-50psi N2 )