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全新 BROOKS 简化流量控制仪器 SLA5850

简要描述:全新 BROOKS 简化流量控制仪器 SLA5850
长期零点稳定性:0.2%满量程/年或更小
高精准度
额定流量范围广 - 0.003 至 2500 slpm
高压额定值 - 高达 1500 psi/100 bar(可选:4500 psi/310 bar)
可配置的多气体/多范围功能

  • 产品型号:SLA-5850
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-07-17
  • 访  问  量:218
详情介绍

全新 BROOKS 简化流量控制仪器 SLA5850 

全新 BROOKS 简化流量控制仪器 SLA5850 

长期零点稳定性:0.2%满量程/年或更小

高精准度

额定流量范围广 - 0.003 至 2500 slpm

高压额定值 - 高达 1500 psi/100 bar(可选:4500 psi/310 bar)

可配置的多气体/多范围功能

易于访问的独立诊断/服务端口

广泛的通信选项,包括 DeviceNet®、EtherCAT®、Profibus® 和 RS-485、模拟接口

模块化设计,方便工厂或现场维护

传感器的长期稳定性消除了维护或定期重新校准的需要,从而降低了总拥有成本

Brooks Instrument 专有的热传感器技术可提高信噪比并提高低设定点下的流量精度

通过一个设备平台兼容各种气体范围/流量范围

最多可以编程和保存 6 种校准类型。通过一台设备即可在不同气体和范围之间切换,从而减少库存

用户可以轻松访问服务端口,并简化安装、故障排除和诊断任务,而无需中断流量控制器操作

耐用的金属顶盖可防止安装过程中损坏

多协议通信接口简化了与现有系统的集成

通过基于全球标准的高性能测量和校准实现高精度

化学和石化催化剂研究和中试工艺

实验室和分析系统

燃料电池技术

生命科学生物反应器

流量范围(满量程容量)
.003 - 2500 英里/分钟
准确性

17025 认证设备(包括线性度,不包括校准系统测量不确定度,根据 SEMI E69)

±0.6% SP (20-100% FS)

±0.12% 满量程 (<20% 满量程)

1100 slpm 至 2500 slpm:±0.6% FS


标准设备(包括参考标准的不确定性

±0.9% SP (20-100% FS)

±0.18% 满量程 (2-20% 满量程)

1100 slpm 至 2500 slpm:满量程的 ±1.0%

再现性

0.20% SP

线性度

包含在准确度中

响应时间

0.003 - 100 slpm:<1 秒

100 - 2500 slpm:<3 秒

多气体多范围

标准

最大压力

.003-200 slpm:1500 psi/103 巴

100 - 2500 slpm:1000 psi/70 巴

最大 50 slpm 设备上可选 4500 psi/310 bar

控制范围

1-50 slpm:FS 调节比为 100:1

50-2500 lpm:FS 调节比为 50:1

零稳定性

每年 < 0.2%FS

温度系数

零:每o C < FS 的 0.05%

量程:每o C < SP 的 0.1%

压力系数

0.03% 每 psi (0-200 psi N2 )

态度敏感性

重新调零后与规定精度的最大偏差<0.2% FS




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