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全新 BROOKS 简化流量控制仪器 SLA5850
长期零点稳定性：0.2%满量程/年或更小
高精准度
额定流量范围广 - 0.003 至 2500 slpm
高压额定值 - 高达 1500 psi/100 bar（可选：4500 psi/310 bar）
可配置的多气体/多范围功能
易于访问的独立诊断/服务端口
广泛的通信选项，包括 DeviceNet®、EtherCAT®、Profibus® 和 RS-485、模拟接口
模块化设计，方便工厂或现场维护
传感器的长期稳定性消除了维护或定期重新校准的需要，从而降低了总拥有成本
Brooks Instrument 专有的热传感器技术可提高信噪比并提高低设定点下的流量精度
通过一个设备平台兼容各种气体范围/流量范围
最多可以编程和保存 6 种校准类型。通过一台设备即可在不同气体和范围之间切换，从而减少库存
用户可以轻松访问服务端口，并简化安装、故障排除和诊断任务，而无需中断流量控制器操作
耐用的金属顶盖可防止安装过程中损坏
多协议通信接口简化了与现有系统的集成
通过基于全球标准的高性能测量和校准实现高精度
化学和石化催化剂研究和中试工艺
实验室和分析系统
燃料电池技术
生命科学生物反应器
17025 认证设备（包括线性度，不包括校准系统测量不确定度，根据 SEMI E69）
±0.6% SP (20-100% FS)
±0.12% 满量程 (<20% 满量程)
1100 slpm 至 2500 slpm：±0.6% FS
标准设备（包括参考标准的不确定性
±0.9% SP (20-100% FS)
±0.18% 满量程 (2-20% 满量程)
1100 slpm 至 2500 slpm：满量程的 ±1.0%
0.20% SP
包含在准确度中
0.003 - 100 slpm：<1 秒
100 - 2500 slpm：<3 秒
标准
.003-200 slpm：1500 psi/103 巴
100 - 2500 slpm：1000 psi/70 巴
最大 50 slpm 设备上可选 4500 psi/310 bar
1-50 slpm：FS 调节比为 100:1
50-2500 lpm：FS 调节比为 50:1
每年 < 0.2%FS
零：每o C < FS 的 0.05%
量程：每o C < SP 的 0.1%
0.03% 每 psi (0-200 psi N2 )
重新调零后与规定精度的最大偏差<0.2% FS
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